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ASML澄清:EUV出口到中國大陸完全沒有任何問題

2020-05-19 12:01:49 2099

日前,全球光刻巨頭ASML(阿斯麥)正式澄清,EUV要進口到中國大陸完全沒有任何問題!2019年,中國大陸或?qū)⒂瓉硎着_EUV光刻機。

眾所周知,芯片是電子產(chǎn)品所必不可少的組件,芯片制造商要想成功地制造出芯片來,必須用到光刻機。對芯片制造商來說,光刻機就是核心的生產(chǎn)設(shè)備。

EUV

目前,全球僅有極少數(shù)的光刻機設(shè)備廠商能夠研制出高端光刻機,而荷蘭的ASML則擁有全球晶圓廠光刻機設(shè)備高達8成的市場份額,在干式曝光機、浸潤式光刻機,EUV(極紫外線光刻機)的市場幾乎處于獨霸地位,臺積電、三星、英特爾等國際半導(dǎo)體巨頭都是其客戶。

由于EUV光刻機的生產(chǎn)難度和成本都非常大,導(dǎo)致ASML的EUV全年出貨僅12臺,明年可望增加至20臺,現(xiàn)累積未出貨訂單約27臺,其中有5臺已被臺積電預(yù)訂,費款高達5.5億美元。

在國內(nèi),一直流傳著一種聲音....受西方《瓦森納協(xié)議》的限制,中國只能買到ASML的中低端產(chǎn)品,出價再高,也無法購得ASML的高端設(shè)備。甚至還有人認為,臺積電、三星等在制程上之所以大幅領(lǐng)先中芯國際,主要是因為ASML最先進的光刻機對大陸禁售。

那么,ASML的EUV光刻機真的對大陸禁售?到底是受產(chǎn)量限制,還是相傳受到國際條約《瓦森納協(xié)議》的制約?

近日,ASML中國區(qū)總裁金泳璇在接受媒體(DIGITIMES)采訪時正式澄清,ASML對大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁,只要客戶下單,EUV要進口到中國完全沒有任何問題。在交期方面,所有客戶也都完全一致,從下單到正式交貨,均為21個月。

他還透露,目前已有大陸晶圓廠巨頭與ASML展開7納米工藝制程的EUV訂單洽談,2019年大陸首臺EUV可望落地。

值得一提的是,中芯國際正好在今年3月宣誓進軍7納米,還表示已和ASML達成合作。由此看來,ASML所說的“大陸晶圓廠巨頭”應(yīng)是中芯國際無疑了!

沒有EUV,大陸芯片制造死路一條

作為集成電路制造過程中最核心的設(shè)備,光刻機至關(guān)重要,芯片廠商想要提升工藝制程,沒有它萬萬不行,中國半導(dǎo)體工藝為啥提升不上去,光刻機被禁售是一個主要因素。

一般來說,一家芯片代工廠,從客戶那里獲得一個芯片生產(chǎn)訂單開始算起,需要在60天內(nèi)為該客戶生產(chǎn)完所有硅片,這些硅片經(jīng)過封裝和測試等環(huán)節(jié)后,大約又需耗時一個月。

不過,如果這家芯片代工廠采用EUV光刻技術(shù),所用生產(chǎn)時長將會大幅縮短,并且產(chǎn)品良率也會提高很多。EUV最大的優(yōu)點就是20多天即可出廠,而用其他工藝則要80多天。

所以說,大規(guī)模量產(chǎn)必須要用到EUV。而且,沒有EUV光刻機,大陸晶圓代工廠在7納米之戰(zhàn)中毫無勝算!


標(biāo)簽: EUV

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